[반도체 용어] 13. 칠러(Chiller)

*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다.

 

[칠러(Chiller)]

반도체 제조 공정에는 고온을 요구하는 공정이 많습니다. 제어장치 없이 온도를 높이면 열이 계속 발생하여 원하는 온도보다 높아집니다. 이에 따라 장비의 냉각 및 온도 제어가 필요한데, 칠러가 그 역할을 합니다. 보통 팹의 CSF에 위치해 있습니다.

CSF에 설치된 칠러의 모습 / 클릭 시 영상으로 연결

[칠러의 종류]

칠러의 종류는 크게 3가지로 나눌 수 있습니다.

구분	원리	특징
전기식 칠러	펠티에 소자를 이용	1. 냉동기식 대비 소형화 가능 2. 높은 에너지 효율 3. 제어반응속도 향상
냉동식 칠러	냉동기를 이용	1. 가장 광범위하게 사용 2. 광범위한 대역대의 온도제어가 쉬움 3. 모든 영역에서 최소 소비 전력으로 장비의 가동이 가능
열교환기	저온의 냉각수를 이용

출처 : GST 사업보고서

 

① 전기식 칠러 : 펠티에 소자를 이용

② 냉동식 칠러 : 냉동기를 이용, 가장 광범위하게 사용됨

③ 열교환기 : 저온의 냉각수를 이용

 

기존에는 냉각수를 이용하는 열교환기식 칠러를 많이 사용했는데, 최근 ESG 및 환경 규제로 인해 칠러에 필요한 냉각수 생산량이 감소될 예정입니다. 또한, 반도체 공정이 고도화되고 미세화됨에 따라서 온도응답성과 제어성이 훌륭한 전기식 칠러의 수요가 증가할 것으로 업계는 예상하고 있습니다.

/ 출처 : GST

주요 국내 업체로는 유니셈, GST, 테키스트, FST가 있습니다.

 

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