728x90 반도체 RUN1 [반도체 용어] 16. 설비의 RUN, IDLE, DOWN *이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. 반도체 설비에는 신호등처럼 불빛이 들어오는 램프가 있습니다. 아래 사진처럼 설비 전면의 램프에서 초록색, 노란색, 빨간색 불빛을 볼 수 있습니다. 각 불빛의 의미와 용어에 대해서 알아보겠습니다. [1. RUN(초록)] 첫째로, 초록색이 의미하는 'RUN'입니다. 이름 그대로 설비가 가동 중이라는 의미입니다. 설비 내에서 웨이퍼의 공정이 진행 중이며, 이상 없이 정상 운용되는 상태입니다. 따라서 위의 사진에서 RUN 상태인 설비를 보면 Load Port에 Foup이 물려있는 것을 볼 수 있습니다. [2. IDLE(노랑)] 둘째로, 노란색이 의미하는 'IDLE'입니다. 이 역시 이름 그대로 설비가 쉬고 있다는 뜻입니다. 설비에 이상은 없으나,.. 2023. 3. 16. 이전 1 다음 728x90
