[반도체 용어] 19. Recipe(레시피)
*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [Recipe(레시피)] 레시피라 하면 흔히 음식을 만드는 조리법을 말합니다. 반도체 용어로의 레시피도 '반도체를 만들기 위한 제조법'을 의미합니다. 반도체는 8대 공정으로 대표되는 여러 공정을 수 백번 이상 반복하며 완성되는데, 레시피에는 다음과 같은 정보가 적혀있습니다. ① 공정 단계 : 어떤 공정을 수행해야 하는지ex) 산화 공정, 식각 공정, 증착 공정 등② 재료 : 사용되는 재료의 종류ex) Si, Ta, W, Cu, HF 등 ③ 조건 : 공정 수행 시 필요한 조건ex) 온도, 압력, 가스량, 강도, 시간, 속도, 기압 등 설비와 제품별로 맞춤되어 있는 수 백개 이상의 레시피를 거치면 반도체가 완성됩니다. 꼭 반도체 제조를 위한 ..
2023. 4. 7.
