728x90 스크러버1 [반도체 용어] 12. 스크러버(Scrubber) *이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [스크러버(Scrubber)] 스크러버(Scrubber)란 대기오염을 줄이기 위해 사용하는 장비입니다. 반도체 제조를 위해서는 다양한 화학물질이 사용됩니다. 이때 사용된 물질은 대부분 인체에 유해하며, 이를 그대로 배출할 경우 문제가 생길 수 있습니다. 이러한 폐기물 처리를 위해 사용되는 장비 중 하나가 바로 스크러버입니다. 스크러버는 반도체뿐만 아니라 디스플레이, 금속 가공 산업, 석유화학 산업 등 여러 곳에서 사용하지만, 이 글에서는 반도체 산업에서의 스크러버를 다루겠습니다. [스크러버의 구성] 스크러버는 크게 1차 스크러버와 2차 스크러버로 구성되어 있습니다. 1차 스크러버는 장비와 직결되어 있으며, 반도체 공정을 진행하며 발생되는 .. 2023. 3. 12. 이전 1 다음 728x90
