728x90 Aligner1 [반도체 용어] 5. ATM Robot, Aligner *이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. 설명에 앞서, 아래 사진을 보며 본문을 읽으면 이해에 도움이 됩니다. [1. ATM Robot] ATM Robot이란 일반 대기압에서 동작하는 로봇으로, 반도체 설비에서는 EFEM 내부에 있는 로봇을 의미합니다. Load Port에 안착한 Foup은 EFEM내부와 연결됩니다. 이때 Foup 내부의 웨이퍼를 옮겨주는 역할을 ATM Robot이 담당합니다. [2. Aligner] Aligner는 웨이퍼를 회전시키며 노치를 감지하여 웨이퍼를 정렬하는 장치입니다. 노치란 웨이퍼 테두리의 잘린 공간입니다. [ATM Robot과 Aligner의 동작 모습] EFEM의 내부입니다. Foup의 웨이퍼를 ATM Robot이 옮겨 Aligner에 올려놓습니.. 2023. 2. 3. 이전 1 다음 728x90
