728x90 leak1 [반도체 용어] 10. Leak, Leak Check *이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [1. Leak(누설)] 반도체 설비는 대부분 진공의 상태에서 공정을 진행합니다. 그러나 부품의 파손 및 고장, PM 등으로 인해 외기가 내부로 유입되는 Leak이 생길 수 있습니다. 이럴 경우 작게는 공정 진행이 불가하며, 크게는 Particle로 인해 웨이퍼를 폐기해야 하는 상황이 발생합니다. 또한, 가스나 액체가 새어 인체에 유해한 영향을 줄 수도 있습니다. 따라서 Leak을 예방하는 것이 굉장히 중요하며, 발생할 경우 신속히 조치해야 합니다. [2. Leak Check] Leak Check은 크게 2가지 상황에서 합니다. 첫째로, Leak이 발생한 경우 - 어느 부분에 Leak이 발생했는지 파악하기 위함입니다. 둘째로, 설비에 변경.. 2023. 2. 28. 이전 1 다음 728x90
