[반도체 용어] 16. 설비의 RUN, IDLE, DOWN

*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다.

 

반도체 설비에는 신호등처럼 불빛이 들어오는 램프가 있습니다. 아래 사진처럼 설비 전면의 램프에서 초록색, 노란색, 빨간색 불빛을 볼 수 있습니다. 각 불빛의 의미와 용어에 대해서 알아보겠습니다.

사진을 누르면 영상으로 연결됩니다.

[1. RUN(초록)]

첫째로, 초록색이 의미하는 'RUN'입니다. 이름 그대로 설비가 가동 중이라는 의미입니다. 설비 내에서 웨이퍼의 공정이 진행 중이며, 이상 없이 정상 운용되는 상태입니다. 따라서 위의 사진에서 RUN 상태인 설비를 보면 Load Port에 Foup이 물려있는 것을 볼 수 있습니다.

[2. IDLE(노랑)]

둘째로, 노란색이 의미하는 'IDLE'입니다. 이 역시 이름 그대로 설비가 쉬고 있다는 뜻입니다. 설비에 이상은 없으나, Foup이 물리지 않아 웨이퍼에 공정을 진행할 수 없는 상태입니다. 위의 사진에서 IDLE 상태인 설비를 보면 Load Port에 Foup이 물려있지 않은 것을 볼 수 있습니다.

IDLE 상태인 설비(챔버)가 많을수록 설비가 100% 활용되지 못하다는 반증이기도 합니다. 이렇게 여유가 있는 경우 평소 하지 못했던 설비의 업그레이드나 횡전개, 부품 교체 등을 진행하기도 합니다.

[3. DOWN(빨강)]

셋째로, 빨간색이 의미하는 'DOWN'입니다. 공정을 진행할 수 없다는 뜻입니다.

공정을 진행하지 못하는 경우는 정말 다양하지만, 대표적인 몇 가지를 소개하겠습니다.

① 설비의 계획된 유지보수

- PM

- 부대설비 점검

② 설비 이상 : 요인은 정말 다양하다.

- 부품이상으로 인한 공정 진행 불가

- 이물질로 인한 공정 진행 불가

- 공정을 진행할 수 있는 조건이 만들어지지 않는 경우(진공, 온도 등)

③ 설비의 이상 의심

- 해당 설비를 거친 웨이퍼의 계측 결과가 이상한 경우

- 가성 Interlock

 

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