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*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다.
[Recipe(레시피)]
레시피라 하면 흔히 음식을 만드는 조리법을 말합니다. 반도체 용어로의 레시피도 '반도체를 만들기 위한 제조법'을 의미합니다. 반도체는 8대 공정으로 대표되는 여러 공정을 수 백번 이상 반복하며 완성되는데, 레시피에는 다음과 같은 정보가 적혀있습니다.
① 공정 단계 : 어떤 공정을 수행해야 하는지ex) 산화 공정, 식각 공정, 증착 공정 등② 재료 : 사용되는 재료의 종류ex) Si, Ta, W, Cu, HF 등
③ 조건
: 공정 수행 시 필요한 조건ex) 온도, 압력, 가스량, 강도, 시간, 속도, 기압 등
설비와 제품별로 맞춤되어 있는 수 백개 이상의 레시피를 거치면 반도체가 완성됩니다. 꼭 반도체 제조를 위한 레시피가 아니더라도 설비를 깨끗하기 하기 위한 레시피, PM 후 컨디션을 잡기 위한 레시피도 있습니다.
반도체 레시피는 제조를 위해 필수적이며 가장 중요한 자산입니다. 따라서 엄격한 보안에 의해 유지되며 기밀로 유지되는 사안입니다. 한국의 경우 전체 수출액의 20%가량이 반도체이므로 국가 경쟁력을 좌우할 수 있음을 명심해야겠습니다.
[반도체 용어 18편 : 수율(Yield), 수율이 중요한 이유]
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