728x90 로드 포트1 [반도체 용어] 4. OHT, 로드 포트, EFEM *이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [1. OHT] - Overhead Hoist Transport OHT란 라인에서 Foup의 로딩/언로딩과 이송을 하는 설비를 말합니다. 메인 팹의 천장에서 볼 수 있는, 레일을 따라 이동하는 설비가 OHT입니다. 과거에는 Foup을 사람이 일일이 옮겼지만, OHT가 등장하며 그 역할을 대신하고 있습니다. Foup은 설비의 Load Port에 놓이기도 하고, 스토커(Stocker)에 저장되기도 합니다. [2. 로드포트(Load Port, LPM)] -Load Port Module 로드 포트란 Foup이 안착되는 곳이자 Foup과 EFEM 사이를 연결하는 역할을 합니다. Foup의 웨이퍼가 EFEM으로 이동할 때 외부 공기 및 불순물이 유입.. 2023. 2. 1. 이전 1 다음 728x90
