[반도체 용어] 7. 진공(Vacuum) : 반도체에서 진공이 중요한 이유
*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [진공(Vacuum)] 진공은 아무것도 없는 공간을 의미합니다. 그러나 실제로 완벽한 진공을 만드는 것은 불가능하죠. 하지만 진공에 가깝게 최대한 공간 내의 물질을 제거할 수는 있고, 이 정도에 따라 진공의 종류가 구분됩니다. [진공의 종류] 진공은 그 정도에 따라 크게 5가지로 나눕니다. 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공, 극고진공입니다. 진공 범위 (Torr, mmHg) 진공 범위 (Pa) 사용 펌프 대기압 760 101,325(=1atm) 저진공(Low Vacuum) 760~1 100,000~100 드라이, 오일 회전 중진공(Medium Vacuum) 1~10-³ 100~10-¹ 드라이, 부스터 고진공(High Vacuum) 10-..
2023. 2. 8.
