[반도체 용어] 8. 스토커(Stocker), EMO 스위치

*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다.

 

[1. 스토커(Stocker)]

스토커란 Foup(웨이퍼를 보관하는 통)을 적재 및 배출하는 장비입니다. 쉽게 말하자면 Foup을 보관하는 장소입니다.

출처 : 삼성전자 반도체 유튜브 '[전격공개] 이거 공개 가능? 삼성전자 반도체 채널에서만 공개하는 반도체 라인 A to Z'

위 사진의 네모 구역마다 Foup이 보관됩니다.

출처 : (주)디앰씨이엔지

위 사진에서는 Foup의 입출구와 설비 제어용 모니터도 확인할 수 있습니다.

[2. EMO 스위치(Emergency Off)]

EMO 스위치는 위급상황이 발생할 경우 작업자의 안전을 위해 사용하는 최후의 수단입니다. 설비의 전원을 차단하는 버튼이기 때문이죠. 스위치의 접점이 물리적으로 동작하기 때문에, 꼭 버튼을 누르지 않더라도 연결되어 있는 배선을 뽑는다면 EMO 스위치를 누른 것과 동일한 효과가 발생할 수 있습니다. 특히 반도체 설비의 경우 공정이 중간에 멈춘다면 웨이퍼를 버려야 할 수도 있기 때문에, 작업 시에는 EMO 스위치의 위치와 배선을 항상 신경 써야 합니다.

출처 : 왼쪽부터 ULVAC, GST

반도체 설비에는 빨간 EMO 스위치와 그 주변을 감싸는 노란 플라스틱을 쉽게 찾아볼 수 있습니다.

 

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