728x90 스토커1 [반도체 용어] 8. 스토커(Stocker), EMO 스위치 *이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [1. 스토커(Stocker)] 스토커란 Foup(웨이퍼를 보관하는 통)을 적재 및 배출하는 장비입니다. 쉽게 말하자면 Foup을 보관하는 장소입니다. 위 사진의 네모 구역마다 Foup이 보관됩니다. 위 사진에서는 Foup의 입출구와 설비 제어용 모니터도 확인할 수 있습니다. [2. EMO 스위치(Emergency Off)] EMO 스위치는 위급상황이 발생할 경우 작업자의 안전을 위해 사용하는 최후의 수단입니다. 설비의 전원을 차단하는 버튼이기 때문이죠. 스위치의 접점이 물리적으로 동작하기 때문에, 꼭 버튼을 누르지 않더라도 연결되어 있는 배선을 뽑는다면 EMO 스위치를 누른 것과 동일한 효과가 발생할 수 있습니다. 특히 반도체 설비의 경.. 2023. 2. 10. 이전 1 다음 728x90
