[반도체 용어] 2. 스막(Smock Room), 방진복, 에어샤워

*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다.

[1. 스막(Smock Room)]

Smock을 해석하면 방진복이라는 뜻입니다. 흔히 스막이라고 부르는 Smock Room은 라인(클린룸)에 들어가기 전 방진복, 방진화 등을 입기 위한 청정 공간입니다. 아래 사진을 자세히 보면 그레이팅(Grating)이 부분마다 깔려있는데, 클린룸과 연결되는 곳이므로 이곳 또한 청정도를 유지해야 하기 때문입니다.

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[2. 방진복]

출처 : 삼성반도체이야기

[방진복의 역할]

첫째로, 신체의 불순물이 제조공정에 영향을 주지 않도록 막아주고(전신을 감쌈)
둘째로, 불순물이 신체에 붙는 것을 막아줍니다.(정전기 방지)

[방진복 착용 순서]

방진복을 입을 때에는 방진장갑, 방진모, 방진마스크, 방진화를 함께 입어줍니다.
입는 순서는 방진장갑 -> 방진마스크 -> 방진모 -> 방진복 -> 방진화이며,
탈의 순서는 방진장갑 -> 방진화 -> 방진복 -> 방진모 -> 방진마스크입니다.
이는 업체마다 다를 수 있습니다.
간혹 방진모로 인해 머리의 공기가 밀폐되어 걱정하는 분들이 있는데, 통풍을 위해 정수리에 구멍이 뚫린 방진모도 착용을 할 수 있습니다.

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방진복을 입기 전, 속옷을 제외하고 모두 탈의를 한 후 내의(바지와 티셔츠)를 입습니다. 스막에 상주하는 아주머니들이 있는데, 스막 내부를 청소하며 방진복과 내의(바지, 티셔츠)를 세탁 보내고 다시 가져다 놓습니다.

[3. 에어샤워]

스막에서 방진복을 입었다면, 에어샤워를 한 후 팹에 들어갑니다.
에어샤워란 공기로 몸에 있는 입자와 불순물을 떨어뜨리는 장치입니다.
아래 사진에서 볼 수 있듯이 아래를 제외한 3면에서 강한 바람이 나오며,
이 통로를 지나면 흔히 팹이라고 부르는 메인 팹을 볼 수 있습니다.

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[반도체 용어 1편 : 팹, 팹의 구조, 라인]

[반도체 용어] 1. 팹(FAB), 팹의 구조, 라인(Line)

[반도체 용어 3편 : 웨이퍼, 풉, 랏]

[반도체 용어] 3. 웨이퍼(Wafer), 풉(Foup), 랏(Lot)