*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다.
설명에 앞서, 아래 사진을 보며 본문을 읽으면 이해에 도움이 됩니다.
[1. ATM Robot]
ATM Robot이란 일반 대기압에서 동작하는 로봇으로, 반도체 설비에서는 EFEM 내부에 있는 로봇을 의미합니다.
Load Port에 안착한 Foup은 EFEM내부와 연결됩니다. 이때 Foup 내부의 웨이퍼를 옮겨주는 역할을 ATM Robot이 담당합니다.
[2. Aligner]
Aligner는 웨이퍼를 회전시키며 노치를 감지하여 웨이퍼를 정렬하는 장치입니다. 노치란 웨이퍼 테두리의 잘린 공간입니다.
[ATM Robot과 Aligner의 동작 모습]
EFEM의 내부입니다. Foup의 웨이퍼를 ATM Robot이 옮겨 Aligner에 올려놓습니다. Aligner는 웨이퍼를 회전시켜 노치를 감지하여 정렬한 후 다시 ATM Robot이 웨이퍼를 옮깁니다.
[반도체 용어 4편 : OHT, 로드 포트, EFEM]
[반도체 용어] 4. OHT, 로드 포트, EFEM
*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [1. OHT] - Overhead Hoist Transport OHT란 라인에서 Foup의 로딩/언로딩과 이송을 하는 설비를 말합니다. 메인 팹의 천장에서 볼 수 있는,
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[반도체 용어 6편 : 챔버, 로드락]
[반도체 용어] 6. 챔버(Chamber), 로드락(Load Lock)
*이전 반도체 용어 시리즈를 보고 오면 이해하는데 도움이 됩니다. [챔버(Chamber)] 챔버란 웨이퍼 공정을 진행하는 공간을 뜻합니다.. 챔버에는 크게 3가지 종류가 있습니다. Load Lock Chamber, Transfer C
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